碳化硅生产新设备

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

2022年12月15日环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素。徐秀兰还 2023年10月24日三安光电介绍，在大尺寸碳化硅衬底方面，湖南三安8英寸碳化硅衬底已完成开发，依托精准热场控制的自主PVT工艺，实现了更低成本及更低缺陷密度，产品进三安光电碳化硅新进展：8英寸衬底准量产、车规MOS验证提速2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级碳化硅，第三代半导体时代的中国机会新华网

英罗唯森：开启碳化硅设备先河澎湃号媒体澎湃新闻The

2021年1月15日英罗唯森：开启碳化硅设备先河无锡英罗唯森科技有限公司是国内领先的碳化硅设备制造商，为化工、医药农药、新能源领域等有耐腐蚀设备需求用户提供技术 2023年10月24日湖南三安碳化硅产品取得阶段性进展“双碳”目标下,新能源汽车产业快速发展，车规功率半导体需求量激增,碳化硅器件凭借耐高压、耐高温、低损耗等优越性能，湖南三安碳化硅产品取得阶段性进展新华网2020年10月12日 “碳化硅产业基地一期的300台单晶生产设备，具备年产75万片碳化硅单晶衬底的产能，年收入在3亿元以上。 ”山西烁科晶体有限公司保障部经理周立平介绍，项聚焦六新率先转型丨烁科晶体：年产75万片碳化硅，核心

碳化硅，第三代半导体时代的中国机会经济科技人民网

2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备 2022年3月2日该项目由 2021 年 8 月 18 日开工、预计 2022 年 Q3 投产，一期新增生产设备 1000 余台（套），形成导电型 SiC 衬底 30 万片年产能。将直接改善公司产品结构碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心江苏星特亮科技有限公司（官方网站）延安星特亮科创有限

SiC发展神速设备XFab碳化硅

2022年8月25日一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产线。但大批量的生产需要一些专门的工具。 IDM和代工厂需要什么？随着特斯拉的发展，意法半导体很快就实现了高销量。意法半导体汽车产品集团功率晶体管子集团的项目管理办公室主任Giuseppe Arena 2021年7月21日要想生产出高质量的碳化硅晶片，就必须攻克这些技术难关。山西烁科经过反复钻研攻关，最终完全掌握了这项技术，打破了国外垄断，实现了高纯度碳化硅单晶的商业化量产。现在，山西烁科碳化硅半导体材料产能国内，市场占有率超过50%。碳化硅，第三代半导体时代的中国机会国家自然科学基金 2022年3月7日 2、衬底长晶完成后，就进入衬底生产环节。经过定向切割、研磨（粗研磨、精研磨）、抛光（机械抛光）、超精密抛光（化学机械抛光），得到碳化硅衬底。衬底主要起到物理支撑、导热和导电的作用。加工的难点在于碳化硅材料硬度高、脆性大、化学碳化硅产品的应用方向和生产过程知乎

造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？工艺碳化硅中国

2023年5月21日碳化硅的磨抛设备分为粗磨和细磨设备，粗磨方面国产设备基本可以满足加工需求，但是细磨方面主要采购来自于日本不二越、英国logitech、日本disco等公司的设备，采用设备与工艺打包销售的方式，极大的增加了工艺厂商的使用成本和维护成本。2022年8月24日碳化硅生产流程主要涉及以下过程： 1）单晶生长，以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料形成碳化硅晶体；2）衬底环节，碳化硅晶体经过切割、研磨、抛光、清洗等工序加工形成单晶薄片，也即半导体衬底材料； 3）外延片环节，通常使用化学气相沉积（CVD）方法新能源｜碳化硅产业链研究（产业链篇）器件工艺流程外延2021年3月9日 1月3日，泰科天润在湖南省浏阳经开区建成了一条全新6英寸碳化硅功率芯片量产线，90%的生产设备已经到位，正开足马力进行调试，即将投产。露笑科技将在安徽省双凤经开区投资100亿元，建设第三代半导体(碳化硅)产业园项目，一期总投资21亿元。2020年11月28日露笑集团与安徽双凤经开区签订了土地三安160亿、露笑100亿、斯达35亿9家企业公布碳化硅新动作

小议碳化硅的国产化知乎

2020年10月19日碳化硅生产设备与二代半导体类似，我国碳化硅生产设备也大量来自进口美欧日的产品。 LED照明、高压电力传输、家电领域、5G通信、新能源汽车，这些碳化硅和其他三代半导体的核心应用场景，都以我国作为较大主场。2021年1月14日生产碳化硅单晶衬底的关键步骤是单晶的生长，也是碳化硅半导体材料应用的主要技术难点，是产业链中技术密集型和资金密集型的环节。目前，SiC单晶生长方法有物理气相传输法（PVT法）、液相法（LPE法）、高温化学气相沉积法（HTCVD法）等。【详解】华为认为中高压SiC器件成熟在即相关仪器设备需求 2021年11月5日国金证券认为，对于碳化硅行业而言，目前整体市场规模较小，2020年全球市场规模约6亿美元，但是下游需求确定且巨大。根据IHS Markit数据，受新国产碳化硅替代机遇显现第三代半导体群雄逐鹿资本入

【新股报告】半导体材料新股系列：天岳先进碳化硅新浪

2022年1月12日公司成立于2010年，具备多年研发、量产碳化硅衬底的经验。衬底尺寸越大，单位衬底可生产的芯片越多。在半绝缘型碳化硅市场，目前衬底规格以4 2019年9月5日第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇代半导体材料：锗、硅等单晶半导体材料，硅拥有11eV的禁带宽度以及氧化后非常稳定的特性。第二代半导体材料：砷化镓、锑化铟等化合物半导体材料，砷化镓拥有14电子伏特的禁带宽度以及比硅高五倍的电子第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇知乎2022年8月25日一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产线。但大批量的生产需要一些专门的工具。IDM和代工厂需要什么？随着特斯拉的发展，意法半导体很快就实现了高销量。意法半导体汽车产品集团功率晶体管子集团的项目管理办公室主任Giuseppe Arena说碳化硅（SiC）发展神速

碳化硅龙头忙扩产，市场将迎来高峰？腾讯新闻

2023年8月5日除了英飞凌，多家半导体行业公司也在近期或扩大碳化硅芯片生产或联合相关企业创建新厂。安森美：目标拿下碳化硅汽车芯片市场40%份额当地时间7月27日，加拿大汽车零部件供应商巨头麦格纳国际公司与半导体制造商安森美（Onsemi）签订了一项为期10年的碳化硅微芯片协议。2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会来源：科技日报 09:39 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步碳化硅，第三代半导体时代的中国机会光明网2022年3月22日拟 57 亿定增碳化硅材料、半导体设备，迈向半导体设备+材料龙头 1) 碳化硅衬底晶片生产基地项目：计划在宁夏银川建设年产 40 万片 6 英寸以上导电碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有

资本蜂拥的碳化硅衬底市场，各大项目进展如何？知乎专栏

2022年5月31日碳化硅衬底项目喜迎新进展据化合物半导体市场不完全统计，2022年上半年公布新进展的碳化硅衬底项目主要有：图表22022年上半年碳化硅衬底项目进展其中，天岳先进是国内“碳化硅股”，其山东济南、济宁的碳化硅衬底生产基地主要生产半绝缘 2023年3月20日不久前，盛新材料成功产出了台湾省首片8英寸SiC衬底，现在，厦门大学成功实现了8英寸（200 mm）碳化硅同质外延生长，成为国内首家拥有并实现该项技术的机构；同时标志着我国已掌握8英寸碳化硅外延生长的相关技术。厦门大学科研团队负责人表示，新突破！厦门大学成功实现8英寸 SiC 同质外延生长碳化硅 2023年7月17日设备投资额：2023 年 2 月，东莞天域获得近 12 亿元融资用于碳化硅外延产线的扩产（新增产能 100 万片/年的 6 英寸/8 英寸碳化硅外延晶片生产线）。因此，我们假设碳化硅外延设备的投资额为 12 亿元/10 万片/年。2023年晶盛机电专题报告：迈向半导体+碳化硅设备龙头

碳化硅知乎

2023年1月1日碳化硅（又名：碳硅石、金钢砂或耐火砂），化学简式：SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成的一种耐火材料。碳化硅在大自然也存在于罕见的矿物，莫桑石中。 2023年2月4日普兴电子：碳化硅搬迁项目于20229全面竣工。该项目总投资5亿元，项目投产后，普兴电子将新购置各类外延生产及清洗检验设备共392台（套），预计可达到年产300万片8英寸硅外延片、36万片6英寸碳碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业链 2021年8月16日除此之外，碳化硅基功率器件在开关频率、散热能力、损耗等指标上也远好于硅基器件。碳化硅材料具有更高的饱和电子迁移速度、更高的热导率、更低的导通阻抗。1、阻抗更低，可以缩小产品体积，提高第三代半导体之碳化硅：中国半导体的黄金时代知乎

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有

2022年3月2日 43 露笑科技：碳化硅布局国内领先，定增扩产 24 万片导电型衬底产能公司成立于 2003 年，为国内较大的专业漆包线生产商之一、及国内领先的蓝宝石长晶炉生产厂商。依托于蓝宝石业务的积累，向碳化硅“设备——衬底——外延”的全产业链延伸。2021年12月3日 “合肥工厂的产能规划是先以50台6英寸炉子（碳化硅衬底生产设备，属于长晶设备）为一个单元，到年底会根据市场销售的订单，每三个月增加一个（单元）。三个月我就能把炉子安装调试好，即三个月为一个周期。安装调试完毕，正式拿到订单露笑科技“豪赌”碳化硅，工厂已建成，谁持“核心专利”依然 2020年12月8日目前全球95%以上的半导体元件，都是以代半导体材料硅作为基础功能材料，不过随着电动车、5G等新应用兴起，硅基半导体受限硅材料的物理性质，在性能上有不易突破的瓶颈，因此以氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）为工艺详解碳化硅晶片的工艺流程知乎

万众瞩目的第三代半导体材料，碳化硅产业风潮正盛行业

2023年5月18日正如上文提到的，基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。而具体到汽车应用领域，碳化硅应用于新能源车，可以降低损耗、减小模块体积重量、提升续航能力。2022年3月18日设备+工艺联合研发、形成互哺是关键。同时受益新能源车爆发，SiC产业化黄金时代将来临。Yole预计2026年SiC功率器件市场规模将达45亿美元，20202026年CAGR=36%。新能源汽车是碳化硅功率器件市场的主要增长驱动，应用端：解决续航痛点。A股的碳化硅龙头是哪家? 知乎2021年7月12日 2010年，天域与中国科学院半导体研究所合作，共同创建了碳化硅研究所。天域是中国家获得汽车质量认证（IATF16949）的碳化硅半导体材料供应链企业。目前，天域在中国拥有最多的碳化硅外延炉CVD，月产能5000件。凭着最先进的外延能力和最哈勃投的第四家碳化硅企业，为什么选择做SiC外延的它？知乎

大家对碳化硅器件的前景如何看？知乎

2022年12月3日据IHS数据，SiC市场总量在2025年有望达到30亿美元。随着新能源车的发展，SiC器件性能上的优势将推进碳化硅器件市场规模的扩张，也将促使更多的功率半导体企业将目光聚焦在SiC器件上。当前我国也正在推进5G、数据中心、新能源汽车、充电桩 2022年12月15日环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素。徐秀兰还指出，碳化硅长晶炉设备预计需2年时间开发。不过，为抢抓入场时机，并不是所有碳化硅衬底厂产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻2022年4月12日项目名称：碳化硅芯片生产线技术能力提升建设项目。投资主体：株洲中车时代半导体有限公司（以下简称“中车时代半导体装修洁净室，配套进行厂务扩容，新增公用设备。 6项目建设规模：项目建成达产后，将现有平面栅SiC MOSFET 株洲中车时代电气股份有限公司关于自愿披露控股子公司投资

又有第三代半导体项目开工碳化硅投资扩产热潮来袭

2021年7月16日据Yole预计，到2025年，新能源汽车和充电桩领域的碳化硅市场将达到1778亿美元，约占碳化硅总市场规模的七成左右。碳化硅产业链重要玩家有哪些？目前第三代半导体处于发展初期，很多优秀公司暂 2021年6月11日本文详细论述了第三代半导体材料碳化硅 (SiC)的生产方法、研究进展和产业化现状，提出了未来努力的方向和解决的方案，并展望了其未来的发展趋势和应用前景。同代半导体材料硅 (Si)、锗 (Ge)和第二代半导体材料砷化镓 (GaAs)、磷化液 (InP)相第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展知乎2023年1月11日 2022年，碳化硅（SiC）领域的扩产和收并购动作，是全球性现象。无论是沉淀相对深厚的Wolfspeed和意法半导体，还是国内产业链公司，都在积极推进芯趋势丨碳化硅扩产如火如荼，国内生态链疾进新浪财经

海外巨头忙扩张碳化硅（SiC）成争夺热门制造导体计划

2022年10月11日建成之后，新厂区将用于生产碳化硅和氮化镓功率半导体产品，每年可为英飞凌创造20亿欧元的收入。据悉，此次扩建是英飞凌根据其半导体生产制造长期战略而做出的决策，居林工厂在200毫米晶圆生产方面所取得的规模经济效应为该项目打下了良好的基 2021年12月24日我想了解一下碳化硅的生产工艺？因为以后要用到大量的这种材料因此想了解一下这种材料的生产工艺。比如，当前主流的生产工艺是什么？优缺点是什么？国际上先进的生产工艺是什么？生产工艺的不同显示全部关注者 17我想了解一下碳化硅的生产工艺？知乎2021年11月7日使用碳化硅 MOSFET 或碳化硅 MOSFET 与碳化硅 SBD 结合的功率模块的光伏逆变器，转换效率可从 96%提升至 99%以上，能量损耗降低 50%以上，设备循环寿命提升 50 倍，从而能够缩小系统体积、增加功率密度、延长器件使用寿命、降低生产成本。揭秘碳化硅，第三代半导体材料核心，应用七大领域，百亿

碳化硅百度百科

2023年5月4日碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备碳化硅，第三代半导体时代的中国机会经济科技人民网延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心江苏星特亮科技有限公司（官方网站）延安星特亮科创有限